355 m² Reinraum für Pfeiffer Benelux

Fallstudie:

Der PanelBloc-Reinraum

Dieser PanelBloc-Reinraum von ca. 355 m² mit einer ISO-Klassifizierung von 6 & 7 wurde bei Pfeiffer Vacuum Benelux B.V. an deren Standort in Culemborg installiert. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, ein weltweit agierendes Unternehmen mit einer bis ins Jahr 1890 zurückreichenden Geschichte, liefert führende maßgeschneiderte Lösungen für die Halbleiterindustrie, Analytik, Forschung und diverse weitere Anwendungen.

Pfeiffer Vacuum Benelux hat seine bestehenden Reinraummöglichkeiten erheblich erweitert, um den strengen Anforderungen eines wichtigen Kunden im High-Tech-Sektor gerecht zu werden. Die Notwendigkeit der Erweiterung stand in direktem Zusammenhang mit der zunehmenden Komplexität und dem wachsenden Arbeitsaufkommen, das von diesem führenden Unternehmen der Halbleiterindustrie generiert wurde.

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Reinraum gebaut für Next-Generation Service

Laut Peter Spierenburg, Service Manager Benelux bei Pfeiffer Vacuum, „bedeutet die Arbeit für einen solchen Kunden, dass wir zusätzliche Tiefe in der Ausführung suchen müssen.“ Das Unternehmen stellt einen speziellen Helium-Lecksucher her, der für den Einsatz an den Lithografiemaschinen der neuen Generation des Kunden entwickelt wurde. Als die Nachfrage nach der Lieferung und dem Service (servicing) dieser sehr spezifischen Lecksucher enorm anstieg, erkannte Pfeiffer, dass das Unternehmen eine dedizierte, spezialisierte Kapazität benötigte.

Mit Blick auf diese Entwicklung begann das Unternehmen vor etwa drei Jahren mit der Erstellung von Spezifikationen für einen fortschrittlichen und größeren Reinraum. Das Ziel war es, die Anlage vollständig auf die anspruchsvollen Standards des Kunden abzustimmen. Dieser proaktive Ansatz führte zum Bau eines komplett neuen, 355 m² großen ISO-Klasse 6/7-Reinraums. Diese erhebliche Investition garantiert, dass Pfeiffer Vacuum den erforderlichen dedizierten und hochspezifischen Service sowie die Unterstützung bieten kann, die von seinen Schlüsselkunden in der Halbleiterindustrie verlangt werden.

Zielgerichtetes Design und verifizierte molekulare Reinheit

Achtzig Prozent der Reinraumarbeitsplätze sind betrieblich getrennt und speziell konfiguriert, um ein Reinigungsspektrum nach Grade 2 zu erreichen. Der Wartungsprozess für Helium-Lecksucher ist stark rationalisiert: Nach dem Eintreffen werden sie zerlegt, gereinigt, gewartet und wieder montiert – alles innerhalb derselben kontrollierten Reinraumumgebung.

Nach der Wartung durchlaufen die Lecksucher eine obligatorische 24-stündige Ausgasungsphase, gefolgt von einem zweistufigen Prüfverfahren. Der erste Test verifiziert die funktionalen Werksspezifikationen; der zweite umfasst einen RGA-Test (Restgasanalyse), der mit einem Omnigrade-RGA-System durchgeführt wird, um die geforderte molekulare Reinheit nach Grade 2 zu bestätigen. Die für diesen Prozess erforderlichen Spezialprüfsysteme wurden von Pfeiffer im eigenen Haus entwickelt und gefertigt.

Veränderte Erkenntnisse bezüglich der neuen Prüfgeräte machten jedoch erhebliche Anpassungen während der Bauphase erforderlich. Diese Flexibilität seitens ProCleanroom war entscheidend, da die durch die neuen Geräte erzeugte Wärmelast höher ausfiel als ursprünglich prognostiziert. Dies barg das Risiko einer Überschreitung der geforderten Temperaturgrenze. Daher wurden die notwendigen Änderungen vorgenommen, um sicherzustellen, dass die Umgebung temperiert und vollkommen konform (gemäß den Anforderungen) blieb. Darüber hinaus sind in das Reinraumdesign spezielle Versorgungseinrichtungen integriert, die strategisch an vordefinierten Positionen in der gesamten Anlage platziert sind, um eine optimale Prozessabwicklung sowie höchste Reinheit und Betriebssicherheit zu gewährleisten.

Präzisionshandling mit spezialisierten Reinraumkranen

Um die sichere und präzise Handhabung schwerer Komponenten innerhalb des Reinraums zu gewährleisten, ist die Anlage mit einer spezialisierten Hebe-Infrastruktur ausgestattet. Dieses System umfasst zwei komplette Reinraumkransysteme und einen statischen Hebepunkt, was insgesamt drei Hebepunkte ergibt, die alle einheitlich für eine Tragfähigkeit von 250 kg ausgelegt sind.

Diese spezialisierte Infrastruktur ist von entscheidender Bedeutung für die betriebliche Effizienz und die Kontaminationskontrolle. Die doppelten Kransysteme bieten eine flexible Abdeckung über die verschiedenen Arbeitsplätze hinweg und ermöglichen eine präzise Bewegung der Teile von der Demontage bis zum Testen. Gleichzeitig ist der feste Hebepunkt strategisch für Aufgaben positioniert, die eine maximale vertikale Präzision an einer spezifischen Arbeitsstation erfordern.

Projektmanagement und die Gesamtlösung

ProCleanroom lieferte eine Full-Service-Lösung und steuerte den gesamten Leistungsumfang. Von den Rohrleitungen bis zur speziellen Beleuchtung im Inspektionsraum blieb kein Detail unberücksichtigt. Dieser komplette, sorgenfreie Service umfasste alles von der technischen Beratung, dem Entwurf und der Installation bis hin zur Validierung, Einrichtung (Fit-out) und der Lieferung von Verbrauchsmaterialien (Consumables). Ein entscheidendes Merkmal der Anlage ist die Integration spezieller UV-A-Inspektionsräume. Dies stellt unter anderem sicher, dass potenzielle Kontaminationen während des Reinigungs- und Verpackungsprozesses erkannt werden, wodurch die Einhaltung der strengen Grade 2-Reinheitsspezifikationen des Kunden garantiert wird.

Einrichtung und Beratung

Die Einrichtung und die Beratung bei der Auswahl der richtigen Reinraumprodukte, passend zum Arbeitsprozess von Pfeiffer, wurden vollständig von der Abteilung Accessories & Consumables von ProCleanroom durchgeführt. Die Spezialisten dieser Division haben gemeinsam mit Pfeiffer die Anforderungen analysiert und darauf basierend ein Produktpaket zusammengestellt. Da dieser Prozess parallel zum Bau des Reinraums verlief, konnte der Raum unmittelbar eingerichtet und in Betrieb genommen werden.

Direkte Vorteile für den Anwender:

Vollständige Turnkey-Lösung – Entwurf, Installation, ISO-Validierung, Bekleidung und Möbel: ein zentraler Ansprechpartner.
Maximale Reinheitsleistung dank vollkommen bündiger Wände und Decke.
Maximale kosmetische Anziehungskraft für Präsentationen vor Kunden und Lieferanten.
Niedrigster Stromverbrauch und geringste Betriebskosten auf dem Markt.

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