700 m² Reinraum für internationalen Hersteller in der Halbleiterindustrie

Fallstudie:

Der 700 m² PanelBloc-Reinraum

Dieser große ISO-Klasse 7 PanelBloc-Reinraum wurde an einem angemieteten Standort für einen internationalen Hersteller in der Halbleiterindustrie installiert. Der Reinraum wird für die konditionierte Lagerung hochsensibler High-Tech-Maschinen genutzt.

Neben dem Hauptraum von ca. 550 m² ist der Reinraum mit einer geräumigen ISO-8-Materialschleuse/MAL (100 m²), die speziell für den Kundenprozess konzipiert wurde, und einer 50 m² Umkleide/PAL-Raum, ebenfalls ISO-Klasse 8, ausgestattet. Aufgrund der Größe, der Aufteilung und der gewünschten Spezifikationen bei gleichbleibender maximaler Leistung wurde entschieden, den Reinraum auf der Grundlage des patentierten PanelBloc®-Reinraumsystems zu bauen. Die PanelBloc-Paneele sind mit einer Spezialbeschichtung versehen, wodurch die Räume schnell und optimal gereinigt werden können und alle Wände sowie die Decke vollkommen bündig sind.

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Temporäre Lagerung

Der Reinraum wurde speziell für die temporäre Lagerung hochsensibler High-Tech-Maschinen an einem angemieteten Standort gebaut. Da sich dieser Standort nicht im Eigentum unseres Kunden befindet, war es von entscheidender Bedeutung, dass der Reinraum über eine vollständig freitragende Konstruktion verfügt, wodurch Aufhängungen und Anpassungen am Gebäude überflüssig wurden. Um den „zeitweisen“ Charakter zu wahren und sicherzustellen, dass der Reinraum relativ einfach demontiert werden kann, ohne den Boden des Standorts zu beschädigen, haben sich unsere Ingenieure für den Einsatz einer reinraumtauglichen Bodenfliese entschieden.

Präzise Einstellungen für Temperatur und Luftfeuchtigkeit

Um sicherzustellen, dass der gewünschte Luftwechsel bei vollständig gefülltem Lager erreicht wird, während die ISO-Klasse (7) und die Luftgeschwindigkeit bei maximaler Leistung erhalten bleiben, wurden 50 Drallauslässe in Kombination mit einer Raumlufttechnischen Anlage (RLT) installiert, die mit Hochleistungs-HEPA-Filtration ausgestattet ist.

Dies garantiert, dass die Temperatur einen konstanten Wert von 21 Grad (+/- 1 Grad) aufweist und die Luftfeuchtigkeit bei 50 % (+/- 10 %) liegt. Auch eine ausreichende Beleuchtung war ein wichtiger Schwerpunkt. Um eine adäquate Ausleuchtung zu realisieren, wurden 140 LED-Paneele nach einem vorher festgelegten Lichtplan vollständig bündig in die Decke integriert.

Kundenspezifische Layout-Gestaltung des Reinraums

Die hochsensiblen High-Tech-Maschinen, die in diesem Reinraum gelagert werden, weisen große Abmessungen und ein hohes Gewicht auf. Daher wurden extrabreite Schnelllauftore installiert und die Materialschleuse (MAL) mit rund 100 m² großzügig dimensioniert. An jedem Lagerplatz stehen Versorgungseinrichtungen wie Stickstoff, Strom, Sprinkler und Notbeleuchtung zur Verfügung. Die lichte Innenhöhe von 4,8 Metern ermöglicht es, Arbeitsmittel und Werkzeuge unterschiedlicher Größe problemlos in den Reinraum einzubringen.

Alle Innentüren und Schnelllauftore sind mit einem selbstschließenden Verriegelungssystem (Interlock) ausgestattet. Für maximale Sicherheit verfügt der Reinraum über Sicherheitssysteme wie Rauchmelder, Notbeleuchtung und spezielle Notfalltüren, die nur von innen geöffnet werden können.

Das überlegene PanelBloc® ist ein äußerst hochwertiges Reinraumsystem und eignet sich für anspruchsvollste Anwendungen in verschiedenen Branchen. Die patentierten isolierten Paneele bieten eine brandsichere und maximal leckdichte Lösung. Die bündige Wand- und Deckenverkleidung bietet die beste Leistung in Bezug auf Reinheit und Repräsentativität.

Direkte Vorteile für den Anwender:

Vollständige schlüsselfertige Lösung – Entwurf, Hardware, Installation, Möbel und Zubehör: ein zentraler Ansprechpartner.
Maximale Reinheitsleistung dank vollkommen bündiger Wände, Böden und Decken.
Maximale kosmetische Anziehungskraft für Präsentationen vor Kunden und Lieferanten.
Niedrigster Energieverbrauch und geringste Betriebskosten auf dem Markt.

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