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Fallstudie: 
Dieser PanelBloc-Reinraum von ca. 61 m² für RM Precision, mit einer ISO-Klassifizierung von 6 & 7, wurde an deren Standort in Nijverdal installiert. RM Precision mit Sitz in Nijverdal (Niederlande) ist ein Lieferant hochwertiger Dreh- und Frästeile für die High-Tech-Industrie. Durch die Kombination ihres fortschrittlichen Maschinenparks mit hochqualifizierten Mitarbeitern sind sie in der Lage, hochpräzise mechanische Produkte zu fertigen.
Für RM Precision ist es, wie für viele andere Tier-2-Zulieferer in der High-Tech-Industrie, von entscheidender Bedeutung, eine erhebliche Kontrolle über die verschiedenen Disziplinen innerhalb ihrer Prozesse zu behalten. Die Entwicklung einer eigenen Reinraumanlage ist neben der Investition in einen hochmodernen Maschinenpark ein strategischer Schritt, der ihre übergeordnete Vision vollständig unterstützt.
ASML wendet Cleanliness Grades an, um die Reinheitsanforderungen von Teilen und Werkzeugen in ihrem Produktionsprozess zu klassifizieren. Dies ist in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung, da selbst mikroskopische Verunreinigungen die Leistung ihrer Maschinen beeinträchtigen können.
Um den Anforderungen der Reinigung nach Grade 4 und 2 gerecht zu werden, ist das Design des Reinraums mit fortschrittlichen Fan-Filter-Units ausgestattet, die mit HEPA H14-Hauptfiltern und Hochleistungs-Vorfiltern bestückt sind. Diese Konfiguration ermöglicht unter anderem das Erreichen und nachhaltige Halten der ISO-Klasse 6-Klassifizierung in den Haupt- und UV-Räumen. Dadurch kann RM Precision Montage-, Reinigungs- und Verpackungsaufgaben der Grades 4 und 2 innerhalb dieser optimierten Reinraumumgebung effektiv ausführen.
Warum ist das wichtig?
Partikel können Defekte in den extrem kleinen Strukturen verursachen, die ASML-Maschinen auf Siliziumwafern belichten. Daher sind diese Reinheitsanforderungen streng und müssen sowohl von ASML als auch von deren Zulieferern eingehalten werden.
Parallel zum Reinraum wurde eine Karl Roll – Special A Dampfentfettungsanlage installiert, geliefert vom spezialisierten Anbieter Oude Reimer. Die Produkte durchlaufen einen gründlichen Vorreinigungsprozess, bevor sie über ein Rollensystem in den Reinraum transportiert werden. Das System ist direkt mit dem Hauptraum des Reinraums integriert, um eine optimale Reinigungsleistung zu erbringen und die Verpackung sowie Lieferung von High-Tech-Produkten nach Grade 2 zu unterstützen.
Die Aufteilung und Ausstattung des Reinraums wurden optimiert, um den Produktfluss zu den internen Inspektions- und Verpackungsarbeitsplätzen zu rationalisieren, was die Prozesseffizienz erhöht. Durch die Integration eines speziell entwickelten UV-Inspektionsraums können Produkte auf diese Weise untersucht werden und bei Bedarf vor dem Verpacken in zusätzliche Reinigungsphasen übergehen.
Die Installation der Beleuchtung nach einem festgelegten Beleuchtungsplan, gekoppelt mit der Platzierung von Möbeln auf der Grundlage eines definierten Layouts, trägt zur Optimierung der Reinraumeffizienz bei. Die daraus resultierenden minimalen internen Laufwege tragen direkt zu verbesserten Durchlaufzeiten bei.
Die Lieferung passender Reinraummöbel und die fachkundige Beratung zu Produkten, abgestimmt auf die betrieblichen Anforderungen von RM Precision, wurden vollständig von der Abteilung Zubehör & Verbrauchsmaterialien von ProCleanroom verwaltet. Durch eine gemeinsame Anstrengung dieser Spezialisten und RM Precision wurden spezifische Wünsche und Anforderungen bewertet, was zu einem maßgeschneiderten Produktangebot führte. Diese parallele Ausführung neben dem Bau des Reinraums stellte sicher, dass RM Precision den Raum sofort beziehen und nutzen konnte, weshalb dies zu Recht als komplette schlüsselfertige Lösung bezeichnet werden kann.
Die Einrichtung und die Beratung bei der Auswahl der richtigen Reinraumprodukte, passend zum Arbeitsprozess von Pfeiffer, wurden vollständig von der Abteilung Accessories & Consumables von ProCleanroom durchgeführt. Die Spezialisten dieser Division haben gemeinsam mit Pfeiffer die Anforderungen analysiert und darauf basierend ein Produktpaket zusammengestellt. Da dieser Prozess parallel zum Bau des Reinraums verlief, konnte der Raum unmittelbar eingerichtet und in Betrieb genommen werden.
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Dieser PanelBloc-Reinraum von ca. 61 m² für RM Precision mit einer ISO-Klassifizierung von 6 & 7 wurde an deren Standort in Nijverdal installiert. Zusatzinformation